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提高超微粒光栅板分辨率和清晰度的研究
提高超微粒光栅板分辨率和清晰度的研究
来源 :感光材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户:leiyang000
【摘 要】
:
本文对用于计量光栅光刻的超微粒光栅板的分辨率和清晰度进行了研究,它对提高超微粒光柵板的分辨率和清晰度,保证光栅光刻质量有一定的实际意义。
【作 者】
:
喻洪麟
【机 构】
:
重庆大学光机所
【出 处】
:
感光材料
【发表日期】
:
1993年2期
【关键词】
:
超微粒乳胶板
分辨率
清晰度
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本文对用于计量光栅光刻的超微粒光栅板的分辨率和清晰度进行了研究,它对提高超微粒光柵板的分辨率和清晰度,保证光栅光刻质量有一定的实际意义。
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