【摘 要】
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针对单晶硅生长过程中的直径测量,提出一种"不在同一条直线上的三点确定圆"的直径测量算法。首先对获取到的单晶生长图像进行图像预处理,提取单晶体的边缘信息,然后基于"不在
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针对单晶硅生长过程中的直径测量,提出一种"不在同一条直线上的三点确定圆"的直径测量算法。首先对获取到的单晶生长图像进行图像预处理,提取单晶体的边缘信息,然后基于"不在同一条直线上的三点确定圆"的原理,对部分"释热光环"提取特征点,从而获取硅单晶直径像素值,再通过量纲转化把直径像素值转化为长度值。试验表明,该算法获得的硅单晶直径的准确率满足直径检测系统的要求。
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