论文部分内容阅读
本文叙述了建立1．0微米工艺线多品种ASIC快速加工平台的必要性，介绍了建立加工平台技术的几个要素，重．杰介绍了加工平台技术中多工艺模块的实现过程、工艺质量扣快速加工的保证措施，最后给出了ASIC快速加工平台的实践结果，该ASIC快速加工平台目前基本满足国内广大用户的流片加工需求，已取得了令人满意的效果。