基于MEMS传感器的水汽测量系统

来源 :传感技术学报 | 被引量 : 9次 | 上传用户：wuyiguogdut

【摘要】

：

提出一种基于MEMS技术的电容式传感器,结合ARM Cortex-M3嵌入式处理器搭建电容式水汽测量系统的测控系统,以实现大气环境中的高精度湿度测量。为提高测量精度和分辨率,利用24 bitΣ-Δ数模转换器测量露点和温度。通过PID控制算法对半导体制冷器进行控制,使贴有MEMS露点传感器和温度传感器的制冷器冷端表面温度降低。当MEMS露点传感器表面温度低于露点时,其表面会产生露珠,引起MEMS电容

【作者】

：

刘清惓高翔陈传寅谢钟镭

【机构】

：

江苏省气象探测与信息处理重点实验室,南京信息工程大学电子与信息工程学院

【出处】

：

传感技术学报

【发表日期】

：

2014年06期

【关键词】

：

MEMS传感器露点测量露点湿度转换温度传感器计算流体动力学 MEMS sensor the dew point the dew point to hum

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