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本文介绍了采用片簧机构实现莫尔条纹零位跟踪的测量方法，可以实现高分辨力的大位移测量。实验所用光栅栅距为０．０２ｍｍ，读数误差小于±０．０４μｍ，相当于实现了５００细分。
光栅莫尔条纹信号的零位跟踪细分
【摘 要】
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本文介绍了采用片簧机构实现莫尔条纹零位跟踪的测量方法，可以实现高分辨力的大位移测量。实验所用光栅栅距为０．０２ｍｍ，读数误差小于±０．０４μｍ，相当于实现了５００细分。
【机 构】
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天津理工学院
【出 处】
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计量技术
【发表日期】
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1996年1期
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