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对ＸＡＳＭ－８００型多功能表面分析系统扩散泵冷却进行了改进，克服了使用中突然停电引起仪器系统的污染，并介绍了受污染仪器的清洗和离子枪枪心的改进与修复等。
XASM—800型多功能表面分析系统的改进与修复
【摘 要】
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对ＸＡＳＭ－８００型多功能表面分析系统扩散泵冷却进行了改进，克服了使用中突然停电引起仪器系统的污染，并介绍了受污染仪器的清洗和离子枪枪心的改进与修复等。
【机 构】
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四川大学分析测试中心,四川大学分析测试中心成都610064,成都610064,成都610064
【出 处】
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分析测试仪器通讯
【发表日期】
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1995年3期
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