TiO2 nanofilm growth by Ti ion implantation and thermal annealing in O2 atmosphere

来源 :Nuclear Science and Techniques | 被引量 : 0次 | 上传用户：aykp0512

【摘要】

：

TiO2 nanofilms on surface of fused silica were fabricated by Ti ion implantation and subsequent thermal annealing in oxygen ambience. The silica glasses were im

【作者】

：

周小东周思华孙现科张云丽

【机构】

：

SchoolofPhysicsandElectromechnicalEngineering

【出处】

：

Nuclear Science and Techniques

【发表日期】

：

2015年3期

【关键词】

：

TiO2纳米薄膜离子注入机薄膜生长氧气气氛热退火纳米TIO2薄膜 X射线光电子能谱 TIO2纳米粒子 Ion implantation Thermal

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TiO2 nanofilms on surface of fused silica were fabricated by Ti ion implantation and subsequent thermal annealing in oxygen ambience. The silica glasses were implanted by 20 k V Ti ions to 1.5 × 1017ions/cm2 on an implanter of metal vapor vacuum arc(

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