Review of flexible microelectromechanical system sensors and devices

来源 :纳米技术与精密工程(英文) | 被引量 : 0次 | 上传用户：zhanglq

【摘要】

：

Today,the vast majority of microelectromechanical system(MEMS)sensors are mechanically rigid and therefore suffer from disadvantages when used in intimately wea

【作者】

：

Xiaopeng Yang Menglun Zhang

【机构】

：

StateKeyLaboratoryofPrecisionMeasuringTechnologyandInstruments

【出处】

：

纳米技术与精密工程(英文)

【发表日期】

：

2021年2期

【关键词】

：

MEMS sensor Flexible electronics Stretchable sensor

【基金项目】

：

the National Natural Science Foundation of China(No.62001322),the Tianjin Municipal Science and Technology Project(No.20JCQNJC011200),the National Key Research and Development Program of China(No.2020

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Today,the vast majority of microelectromechanical system(MEMS)sensors are mechanically rigid and therefore suffer from disadvantages when used in intimately wearable or bio-integrated applications.By applying new engineering strategies,mechanically bendab

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