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LPX305iF型准分子激光光束质量诊断

来源 :激光技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：hoko0428

【摘 要】

：

以准分子激光应用于微细加工为目的 ,采用了一套光束诊断技术对德国LambdaPhysikLPX 30 5iF型KrF准分子激光器进行了全面鉴定 For the purpose of the application of excim

【作 者】

：

李呈德 陈涛 万盈 左铁钏 

【机 构】

：

北京工业大学国家产学研激光技术中心!北京,100022,北京工业大学国家产学研激光技术中心!北京,100022,北京工业大学国家产学研激光技术中心!北京,100022,北京工业大学国家产学研激光技术中

【出 处】

：

激光技术

【发表日期】

：

2000年03期

【关键词】

：

准分子激光 激光光束质量 准分子激光器 激光脉冲能量 重复率 平均功率 诊断技术 脉冲持续时间 激光机 激光器 

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以准分子激光应用于微细加工为目的 ,采用了一套光束诊断技术对德国LambdaPhysikLPX 30 5iF型KrF准分子激光器进行了全面鉴定 For the purpose of the application of excimer laser in micromachining, a set of light beam diagnostic techniques was used to fully identify the German LambdaPhysikLPX 30 5iF KrF excimer laser

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