【摘 要】
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德国乌尔姆大学、麻省理工学院、耶鲁大学和意大利Ｐａｌｅｒｍｏ大学的研究人员制作了谐振腔增强(ＲＣＥ)光探测器。它以普通的外延生长结构与单膜垂直腔面发射激光器(ＶＣＳＥＬ)邻接。该结构用固体源分子
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德国乌尔姆大学、麻省理工学院、耶鲁大学和意大利Ｐａｌｅｒｍｏ大学的研究人员制作了谐振腔增强(ＲＣＥ)光探测器。它以普通的外延生长结构与单膜垂直腔面发射激光器(ＶＣＳＥＬ)邻接。该结构用固体源分子光束外延生长。内腔厚λ/2,包含3个8ｎｍ厚的砷化镓量子阱。刻蚀掉外延
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