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报道了用喷雾热分解法在不同温度下制备二氧化锡薄膜，发现其在３２５℃时已晶化，得到四方相多晶ＳｎＯ２。这种薄膜具有明显湿敏效应。测量表明，较高湿度区阻值随湿度变化近似线性，从高湿到低湿平均为每上升１％ＲＨ，阻值下降８．８π，响应速度小于１分钟，阻值恢复较容易。
SnO2薄膜的湿敏效应
【摘 要】
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报道了用喷雾热分解法在不同温度下制备二氧化锡薄膜，发现其在３２５℃时已晶化，得到四方相多晶ＳｎＯ２。这种薄膜具有明显湿敏效应。测量表明，较高湿度区阻值随湿度变化近似线性，从高湿到低湿
【机 构】
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北京大学微电子学研究所,北京石油化工不院基础部
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1999年6期
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