【摘 要】
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采用TG-DTA及GC-MS联用分析手段研究了CVD(Chemical Vapor Depo-sition,化学气相沉积)铱的前驱体三(2,4-戊二酮)合铱(Ⅲ)的热分解行为.结果表明,在氧气气氛下,三(2,4-戊二酮)
【机 构】
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采用TG-DTA及GC-MS联用分析手段研究了CVD(Chemical Vapor Depo-sition,化学气相沉积)铱的前驱体三(2,4-戊二酮)合铱(Ⅲ)的热分解行为.结果表明,在氧气气氛下,三(2,4-戊二酮)合铱(Ⅲ)在258℃时开始燃烧分解,并伴随着升华失重,燃烧释放的热量远大于升华所需的热量,气相中的主要分解产物为2,4-戊二酮、二氧化碳和2,5-二甲基-3-乙酰基呋喃等.而在惰性的氩气气氛下,三(2,4-戊二酮)合铱(Ⅲ)从239℃开始大量吸热升华并明显失重,它不会燃烧,只能随着温度的升
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