切换导航
文档转换
企业服务
Action
Another action
Something else here
Separated link
One more separated link
vip购买
不 限
期刊论文
硕博论文
会议论文
报 纸
英文论文
全文
主题
作者
摘要
关键词
搜索
您的位置
首页
期刊论文
直流磁控溅射ZnO:Al薄膜过程中氧气浓度的研究
直流磁控溅射ZnO:Al薄膜过程中氧气浓度的研究
来源 :电子器件 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mynickelly
【摘 要】
:
采用直流磁控溅射的方法制备ZnO:Al(ZAO)透明导电薄膜,研究了氧气浓度对ZAO薄膜的结构、光电性质的影响。实验表明适当的氧气浓度是制备优质ZAO透明导电薄膜的关键。本实验条件
【作 者】
:
韦新颖
祁康成
袁红梅
张良燕
【机 构】
:
电子科技大学光电信息学院
【出 处】
:
电子器件
【发表日期】
:
2010年1期
【关键词】
:
直流磁控溅射
ZAO薄膜
电阻率
透过率
DC magnetron sputtering
ZAO film
oxygen concentration
下载到本地 , 更方便阅读
下载此文
赞助VIP
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
采用直流磁控溅射的方法制备ZnO:Al(ZAO)透明导电薄膜,研究了氧气浓度对ZAO薄膜的结构、光电性质的影响。实验表明适当的氧气浓度是制备优质ZAO透明导电薄膜的关键。本实验条件下制备的ZAO薄膜最低电阻率为3.67×10-4Ω.cm,可见光部分透过率高于90%。
其他文献
液压自卸装置的正确使用
1.新车的升降机构在举升600次以内属磨合期,应逐步加载,最大载货量不得超过额定量。在举升过300次之后,应换1次液压油,清除液压系统内的杂质,以延长使用寿命。以后可根据气温
期刊
液压自卸装置
液压油缸
液压系统
离合器踏板
升降机构
延长使用寿命
逐步加载
取力器
变速器齿轮
液压操纵杆
山东常林机械集团股份有限公司
公司是工程机械、农业机械、高效肥料等综合发展的国家大型工业企业、山东省高新技术企业。有山东常林重科有限公司、沭河农科装备公司、山东力士德机械有限公司、山东常林久
期刊
工程机械
山东省
大型工业企业
股份
高新技术企业
工程技术人员
高效肥料
农业机械
有机非挥发存储器件:浮栅结构有机薄膜晶体管
提出了一种浮栅结构的新型有机薄膜晶体管(FG—OTFT)器件,并阐述了这种器件的工作机理。该器件通过控制浮置栅上的电荷来控制FG-OTFF器件的阈值电压的大小,而器件不同的阈值电压
期刊
存储器件
浮栅结构OTFT
数值模拟
记忆窗口
器件特性
memory device
floating gate OTFT
numeric simulat
有机名茶生产机械化大有可为——宣城市郎溪县发展有机名茶生产机械化可行性研究
中国绿茶之乡——安徽省宣城市郎溪县,产茶已有千年历史。全县茶园面积5400公顷,年产干茶8000吨。国产每百千克茶中,就有一千克出自这里。全县从事茶叶生产、加工、销售的专业人
期刊
生产机械化
郎溪县
宣城市
名茶
茶园面积
茶叶生产
安徽省
销售
关于在物理教学中培养学生自学能力的研究
常言道:“活到老,学到老”,其实说的就是一个终身学习的问题。在人生几十年的时间里,真正能够在学校里学习的时间也就那么十几二十年,而现如今每天都在变化的世界却又要求我们要不断地学习,不断地充实自己,否则很快就会被这个急速发展的社会所抛弃。然而当我们踏出校园,无法再像以前那样坐在课堂上学习的时候,我们要想增长知识,更多地就只能通过自学来实现了。因此可以说,自学无论是对于人们将来的学习还是工作都具有非常
期刊
自学能力
物理教学
学生
培养
终身学习
时间
学校
基于0.18μm工艺SOI技术60V LDMOS的设计与分析
随着功率器件尺寸的不断缩小,绝缘体上硅技术所受的关注度日益增加。在0.18μm工艺条件下基于SOI技术,运用SILVACO公司的工艺仿真(Athena)和(Atlas)器件仿真模拟软件,完成了对60
期刊
绝缘体上硅
LDMOS
器件流片测试
器件结构
直流特性
silicon-on-insulator
LDMOS
device tapeout test
d
4H-SiC结势垒肖特基二极管VRSM特性研究
通过器件模拟仿真软件Sentauras和高分辨率透射电子显微镜HRTEM(High-Resolution Transmission Electron Microscopy)研究了4H-SiC结势垒肖特基二极管JBS(Junction Barrier Scho
期刊
4H-SIC
结势垒肖特基二极管
反向浪涌峰值电压
优化
4H-SiC
junction barrier schottky
VRSM
optimizati
图案化定向碳纳米管阵列的场发射性能研究
考虑到碳纳米管的几何形貌会在一定程度上影响其场发射性能,如驱动电场,发射电流强度等,因此设计了3种不同的几何图案,并采用热气相化学沉积(TCVD)法制备出了相应几何结构的定
期刊
屏蔽效应
定向碳纳米管阵列
场发射
催化剂图案
screening effect
aligned carbon nanotubes array
field
二氧化硅壳层对CdS:Mn/ZnS量子点的光稳定性影响研究
在量子点表面包覆二氧化硅壳层,能够有效的保护纳米粒子核不受外界环境的影响,使得它在光电子器件和生物标记等领域中有着广泛的应用前景。通过一锅法制备高质量CdS:Mn/ZnS量
期刊
胶体量子点
光稳定性
一锅法
二氧化硅壳层
colloidal quantum dots
photostability
one-pot
silica sh
300V以上硅基新型JBS肖特基二极管的制备
为了在保留传统肖特基二极管正向压降低、电流密度大优点的基础上,使其反向击穿电压提高到了300V以上,我们采用硅材料做为衬底,肖特基结区采用蜂房结构,终端采用两道场限环结构加
期刊
肖特基二极管
击穿电压300
V以上
蜂房结构
场限环
Schottky diodes
breakdown voltage above 300 V
ho
与本文相关的学术论文