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研究制备了一种压电厚膜微变形镜，微变形镜的连续薄膜式单晶硅镜面由61单元压电厚膜致动器阵列驱动．以镜面冲程与工作频带宽为目标，对微变形镜的结构参数进行优化设计，根据优化参数采用硅微加工技术试制了61单元致动器的微变形镜．镜面、压电陶瓷与弹性支撑层厚度分别为100μm、60μm与60μm，单元间距为5mm，通光口径为Ф40mm．对制备的样品性能进行了测试，微变形镜在100V电压驱动下变形量约为2．84μm，工作带宽大于10kHz．测试结果还表明压电厚膜驱动的微变形镜拥有较高刚度，有利于提高镜面初始平面度．