MOCVD法制备MgZnO合金薄膜

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：iou820915

【摘要】

：

采用金属有机化学气相沉积方法在C面蓝宝石衬底上生长MgxZn1-xO合金薄膜.c轴取向的MgxZn1-xO薄膜在600.～630℃温度下沉积.通过X射线衍射和透射光谱研究了薄膜的结构和光学特性

【作者】

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张源涛朱慧超崔勇国张宝林杨树人杜国同

【机构】

：

吉林大学电子科学与工程学院集成光电子国家重点实验室

【出处】

：

半导体学报

【发表日期】

：

2005年z1期

【关键词】

：

金属有机化学气相沉积 MgZnO合金薄膜 Ⅱ-Ⅵ族半导体材料

【基金项目】

：

国家高技术研究发展计划(批准号:2001AA311130)和国家自然科学基金(批准号:60177007,60176026)资助项目

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采用金属有机化学气相沉积方法在C面蓝宝石衬底上生长MgxZn1-xO合金薄膜.c轴取向的MgxZn1-xO薄膜在600.～630℃温度下沉积.通过X射线衍射和透射光谱研究了薄膜的结构和光学特性.研究表明当x的取值小于等于0.39时,合金薄膜保持ZnO的六角形纤锌矿结构,没有观察到MgO分相,此时薄膜的能带宽度可以在3.3～3.95eV之间调节.

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