【摘 要】
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ＳＴＭ电压脉冲法纳米超微加工机理的研究姚王非①齐小丁②胡小唐②（天津大学分析中心①，天津大学精密仪器工程系②，天津３０）纳米制造是纳米技术的核心，尤其是微细尺寸的加工，ＳＴＭ工作时，针尖与样
【机 构】
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天津大学分析中心,天津大学精密仪器工程系
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ＳＴＭ电压脉冲法纳米超微加工机理的研究姚王非①齐小丁②胡小唐②（天津大学分析中心①，天津大学精密仪器工程系②，天津３０）纳米制造是纳米技术的核心，尤其是微细尺寸的加工，ＳＴＭ工作时，针尖与样品间距非常小（一般小于１ｎｍ），在两者之间施加非常小的电压，...
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