【摘 要】
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介绍了静电驱动，电容检测的微机械式陀螺仪样机的结构，工作原理，驱动与检测电路以及结果；给出了检测电路的分辨率；从样机试验所观测到的试验现象和获得的特性曲线出发，从理论上加以
【基金项目】
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国防科工委预研项目 !编号 8.7.1 .4
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介绍了静电驱动，电容检测的微机械式陀螺仪样机的结构，工作原理，驱动与检测电路以及结果；给出了检测电路的分辨率；从样机试验所观测到的试验现象和获得的特性曲线出发，从理论上加以分析和验证，得到了该陀螺样机驱动轴的非线性机械特性和检测轴分辩率；并提出了克服谐振频率不匹配的措施。指出该陀螺精度达到１０￣１°／ｈ是可行的。
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