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用传统的溶胶一凝胶法制膜，晶化热处理温度达500℃，不适合耐热性较差的基体。采用过量水体系的溶胶-凝胶法低温制备了纳米TiO2薄膜，研究了聚乙二醇（PEG）质量分数、分子量对纳米TiO2膜在氟碳铝表面成膜特性的影响。结果表明：制备睁纳米TiO2膜表面较平整、均匀，表现为锐钛矿型结构，对亚甲基蓝溶液具有良好的光降解作用，但膜会产生裂纹；随着PEG质量分数和分子量的增加，纳米TiO2膜的开裂倾向减小。