【摘 要】
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基于ＳＴＭ式三维ｎｍ级轮廓仪的检测原理、检测系统，研究了与其相关的检测技术．该轮廓仪可直接测量较大工件，扫描范围为１４０μｍ×１４０μｍ，分辨率达ｎｍ级．最后对工作台扫描非线性及扫描控制技术进行讨论，并
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基于ＳＴＭ式三维ｎｍ级轮廓仪的检测原理、检测系统，研究了与其相关的检测技术．该轮廓仪可直接测量较大工件，扫描范围为１４０μｍ×１４０μｍ，分辨率达ｎｍ级．最后对工作台扫描非线性及扫描控制技术进行讨论，并利用多项式拟合法补偿工作台扫描的非线性误差，进而提出了一种平滑反馈扫描技术．
Based on STM three-dimensional nm-level profiler detection principle, detection system, and its associated detection technology. The profiler can directly measure larger workpieces, scanning range of 140μm × 140μm, resolution of nm level. Finally, the workbench scanning nonlinearity and scanning control technology are discussed, and polynomial fitting method is used to compensate the nonlinear error of workbench scanning. Then, a smooth feedback scanning technique is proposed.
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