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用电子薄膜应力分布测试仪测量了薄膜厚度对Ag-MgF2金属陶瓷薄膜内应力的影响,结果表明:薄膜厚度在130 nm、φ20.4 mm选区内的薄膜平均应力最小,应力分布比较均匀,应力为压应力.XRD分析表明,当薄膜厚度在70~400 nm范围内,Ag-MgF2薄膜中的Ag的晶格常数变化比较大,说明Ag晶粒结构对薄膜结构的影响较大,从而对薄膜内应力的影响也较大.