薄膜厚度对Ag—MgF2金属陶瓷薄膜内应力的影响

来源 :真空与低温 | 被引量 : 0次 | 上传用户：chinababay

【摘要】

：

用电子薄膜应力分布测试仪测量了薄膜厚度对Ag-MgF2金属陶瓷薄膜内应力的影响,结果表明:薄膜厚度在130 nm、φ20.4 mm选区内的薄膜平均应力最小,应力分布比较均匀,应力为压应

【作者】

：

李爱侠孙大明孙兆奇宋学萍刘艳美赵宗彦

【机构】

：

安徽大学

【出处】

：

真空与低温

【发表日期】

：

2002年3期

【关键词】

：

内应力 Ag-MgF2金属陶瓷薄膜厚度微结构银氟化镁应力分布 Ag-MgF-2 film stress thickness microstru

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用电子薄膜应力分布测试仪测量了薄膜厚度对Ag-MgF2金属陶瓷薄膜内应力的影响,结果表明:薄膜厚度在130 nm、φ20.4 mm选区内的薄膜平均应力最小,应力分布比较均匀,应力为压应力.XRD分析表明,当薄膜厚度在70～400 nm范围内,Ag-MgF2薄膜中的Ag的晶格常数变化比较大,说明Ag晶粒结构对薄膜结构的影响较大,从而对薄膜内应力的影响也较大.

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