非接触式运动型凹坑信息检测

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为提取凹坑信息,提出采用基于光反射的非接触式检测方法。入射光和反射光构成固定的检测光路,其中入射光束的截面为椭圆形。凹坑连续划过入射光束,使探测器接收到的光电信号呈现有规律的变化。通过对凹坑信息检测建立数学模型,给出了光电信号的变化规律。检测信号的软件模拟结果和实测值有较好的吻合,同时实验还表明检测方案有很高的信噪比。、
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