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单分子积层膜制备技术

来源 :电子材料快报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：hgs19741022

【作 者】

：

庶民 

【出 处】

：

电子材料快报

【发表日期】

：

1998年9期

【关键词】

：

单分子积层膜 薄膜 制备 

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