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用直流磁控反应溅射法，分别在Si（111）基片及Al2O3陶瓷基片上制备了ZnO薄膜，并进行TiO2、SnO2、Al2O3CuO的掺杂和退火处理。用XRD分析了退火前后晶型的变化，利用气敏测试系统对各样品进行了气敏特性测试。结果表明：经过700℃退火后的样品，在最佳工作温度为220℃时，对丙酮有很好的选择性和很高的灵敏度（34．794）。掺杂TiO2或SnO2，可提高ZnO薄膜传感器对丙酮的灵敏度（57．963）。