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以水合三氯化钌和正硅酸乙酯为原料,以钛片为基底,采用热分解氧化法制备了二氧化硅/氧化钌复合膜电极。利用扫描电子显微镜观察电极表面形貌,利用循环伏安曲线法研究电极的电容性能,考察了原料配比,烧结温度,烧结时间等制备条件对电极电容性能的影响,结果发现,二氧化硅/氧化钌复合膜电极具有优良的电容性能,当水合三氯化钌与正硅酸乙醋的物质的量的比为5:2,烧结温度为350℃。烧结时间为1h时单电极的比容量最高可达137mF·cm^-2,比文献值提高了近3个数量级。