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以水合三氯化钌和正硅酸乙酯为原料，以钛片为基底，采用热分解氧化法制备了二氧化硅／氧化钌复合膜电极。利用扫描电子显微镜观察电极表面形貌，利用循环伏安曲线法研究电极的电容性能，考察了原料配比，烧结温度，烧结时间等制备条件对电极电容性能的影响，结果发现，二氧化硅／氧化钌复合膜电极具有优良的电容性能，当水合三氯化钌与正硅酸乙醋的物质的量的比为5：2，烧结温度为350℃。烧结时间为1h时单电极的比容量最高可达137mF·cm^-2，比文献值提高了近3个数量级。