不连续[NiFe/Ag]n多层薄膜低场巨磁阻研究

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用直流磁控溅射和快速真空磁场退火工艺在玻璃基片上制备了[NiFe/Ag]n不连续多层膜。从理论上分析了不连续膜低响应、高磁电阻值的机制,不连续膜模型介于多层膜模型及颗粒膜模型之间。研究了工艺条件,即退火温度、退火时间及空间层Ag厚度对不连续膜巨磁电阻特性的影响,并对工艺条件进行了优化,在常温下获得巨磁电阻值13%,饱和场Hs<800 A/m,磁场灵敏度1.3%/80 Am-1的优质薄膜材料。
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