在线真空计比较法校准技术研究

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介绍了采用B-A型和皮拉尼复合真空计做为副标准计,在线校准工作用真空计的方法。通过使用副标准真空计与在线工作用真空计同时测量同一真空环境,进行数据运算及分析,判断在线真空计的主要技术性能指标,给出其修正因子及测量不确定度。为了验证该校准技术量值传递的准确性及可靠性,通过对副标准真空计相关性能测试及在线进行比较校准,认为该技术是可以解决科研及生产领域中真空计的在线校准。
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