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柔性微图形成型技术是微细加工技术的一个新的方向.介绍了一种新的柔性成型系统--三维定位压控微流系统,并用它制作了柔性微五边形、六边形和微沟道.
柔性微图形成型技术研究
【摘 要】
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柔性微图形成型技术是微细加工技术的一个新的方向.介绍了一种新的柔性成型系统--三维定位压控微流系统,并用它制作了柔性微五边形、六边形和微沟道.
【机 构】
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浙江大学生物传感器国家专业实验室
【出 处】
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传感技术学报
【发表日期】
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2003年4期
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