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由于涉及高压和电离辐射等诸多的因素，长期以来，没有找到一种有效的手段对某特种电真空器件用火花离子源引出束流进行诊断。为此，用CR-39径迹探测器技术和直接照相法对火花离子源引出束流作用在靶部件上和加速间隙空间的分布进行了初步的诊断研究。其中为了避免高压和电离辐射的影响，将特种电真空器件中带电离辐射的部件取出，换上同样尺寸大小的CR-39探测器。经离子束轰击的CR-39探测器，在65℃的NaOH溶液（6mol／L）中蚀刻5h。冲洗晾干后，用显微镜观测CR-39探测器的表面径迹，以确定引出束流在靶面上的分布。