【摘 要】
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研究了InAsSb/GaAs材料生长过程中,各种参数对材料质量的影响。优化了生长参数,获得了优质的InAsSb/GaAs材料。采用x射线双晶衍射、红外透射、霍耳测量等手段研究了材料的性
【机 构】
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复旦大学材料科学研究所 上海 200433
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研究了InAsSb/GaAs材料生长过程中,各种参数对材料质量的影响。优化了生长参数,获得了优质的InAsSb/GaAs材料。采用x射线双晶衍射、红外透射、霍耳测量等手段研究了材料的性能,并制作了光导红外探测器,探测率D可达3×10~9cmHz~(1/2)。W~(-1)。
The effect of various parameters on the material quality during the growth of InAsSb / GaAs materials was investigated. The growth parameters were optimized and a high quality InAsSb / GaAs material was obtained. The properties of the materials were studied by means of x-ray double crystal diffraction, infrared transmission and Hall-measure, and the photoconductive infrared detectors were fabricated. The detection rate D can reach 3 × 10 ~ 9cmHz ~ (1/2). W ~ (-1).
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