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采用微电子工艺实验教学模式，即工艺实验教学由实际操作的工艺实验、工艺录像学习、器件与工艺仿真实验和多媒体辅助实验教学组成，阐述了具体内容。这种微电子工艺实验教学模式的建立，可满足本专业对微电子工艺实验的教学要求，有助于提高专业教学质量、提高学生的实际工作能力和专业素质、培养有竞争力的高质量的微电子人才。