【摘 要】
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采用江苏微导纳米装备科技有限公司生产的管式PEALD镀膜设备,开展等离子体增强原子层沉积(PEALD)氧化铝(Al2O3)沉积工艺对TOPCon电池钝化效果的影响分析。通过研究PEALD沉积工艺中工艺温度、射频功率、氧化铝反应周期数等工艺参数对TOPCon电池钝化效果的影响,得到了最佳的工艺参数:工艺温度150℃,射频功率8000W,氧化铝反应周期数45cycles。在该工艺条件下制备TOPCon电池,测得TOPCon电池结构镀膜烧结后硅片平均少子寿命为436.1μs,电池平均转换效
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采用江苏微导纳米装备科技有限公司生产的管式PEALD镀膜设备,开展等离子体增强原子层沉积(PEALD)氧化铝(Al2O3)沉积工艺对TOPCon电池钝化效果的影响分析。通过研究PEALD沉积工艺中工艺温度、射频功率、氧化铝反应周期数等工艺参数对TOPCon电池钝化效果的影响,得到了最佳的工艺参数:工艺温度150℃,射频功率8000W,氧化铝反应周期数45cycles。在该工艺条件下制备TOPCon电池,测得TOPCon电池结构镀膜烧结后硅片平均少子寿命为436.1μs,电池平均转换效
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