硅集成传感器

来源 :国外传感技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:DayaL
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
迅速发展的VLSI技术不仅促进了硅集成传感器制作技术的发展,而且还改善了传感器的性能,应用VLSI技术的一些工艺,可制作更高性能的硅传感器,可开发出一种新式3维结构,本文结合VLSI技术,探讨了传感器的今后发展趋势,重在开发硅多功能传感器,并强化传感器智能。
其他文献
目的 研究分析导致妊娠晚期羊水过少的病因以及其产生的相关的妊娠结局,探讨寻求有效处理妊娠晚期羊水过少的方法,改善妊娠晚期羊水过少的妊娠结局.方法 回顾性选取31例妊娠
抗震设计作为建筑结构设计的一个重点,一直是结构设计研究中的重要课题。对此,本文从建筑结构的破坏机理出发,介绍建筑结构抗震措施的设置原则。并通过一个多层砖混住宅的结
应用动力学分析软件RecurDyn建立了带式输送机的样机模型,通过仿真研究,得出在起动初始阶段,尾部滚筒速度要滞后于头部滚筒速度一定时间,这主要是由于弹性波在输送带中进行传播到