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迅速发展的VLSI技术不仅促进了硅集成传感器制作技术的发展，而且还改善了传感器的性能，应用VLSI技术的一些工艺，可制作更高性能的硅传感器，可开发出一种新式3维结构，本文结合VLSI技术，探讨了传感器的今后发展趋势，重在开发硅多功能传感器，并强化传感器智能。
硅集成传感器
【摘 要】
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迅速发展的VLSI技术不仅促进了硅集成传感器制作技术的发展，而且还改善了传感器的性能，应用VLSI技术的一些工艺，可制作更高性能的硅传感器，可开发出一种新式3维结构，本文结合VLSI
【出 处】
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国外传感技术
【发表日期】
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2001年5期
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