【摘 要】
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利用电弧离子镀技术,在炮钢表面沉积TiAlN 和TiAlYN 两种薄膜,研究添加1%（原子分数）Y对（Ti,Al）N 薄膜氧化性能的影响.两种沉积薄膜的样品在空气中850 ℃ 下氧化10h,用SEM、EDAX和
【机 构】
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沈阳理工大学装备工程学院,东北大学材料与冶金学院,沈阳工业大学材料科学与工程学院,驻474军事代表室
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利用电弧离子镀技术,在炮钢表面沉积TiAlN 和TiAlYN 两种薄膜,研究添加1%（原子分数）Y对（Ti,Al）N 薄膜氧化性能的影响.两种沉积薄膜的样品在空气中850 ℃ 下氧化10h,用SEM、EDAX和XRD分别分析两种薄膜的形貌、成分及相组成.结果表明,在空气中850 ℃下氧化10h后,两种薄膜的氧化产物均为Al2O3 和TiO2 的混合氧化物;TiAlN 薄膜的动力学曲线呈近似直线规律,而TiAlYN 薄膜动力学曲线符合抛物线规律;前者表面氧化物晶粒粗大,而后者表面氧化物晶粒细小,且氧化膜厚度
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