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期刊论文
光刻技术在金属板片刻蚀上的应用
光刻技术在金属板片刻蚀上的应用
来源 :火箭推进 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhiqi_xu
【摘 要】
:
介绍了应用双面自对准光刻技术刻蚀金属板片的工艺原理、方法、工艺参数的选取原则以及双面自对准光刻模具设计准则,该项技术已成功应用于液体火箭发动机层板喷注器和膜片阀的
【作 者】
:
宁建华
【机 构】
:
西安航天动力研究所
【出 处】
:
火箭推进
【发表日期】
:
2010年1期
【关键词】
:
光刻技术
层板喷注器
膜片阀
photoetching technique platelet injector diaphragm valve
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介绍了应用双面自对准光刻技术刻蚀金属板片的工艺原理、方法、工艺参数的选取原则以及双面自对准光刻模具设计准则,该项技术已成功应用于液体火箭发动机层板喷注器和膜片阀的研制和生产之中。
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