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测定重掺硅单晶中的氧主要采用惰性气体熔融–红外光谱法,然而如何保证测试结果的准确性却是一个问题。本文讨论了惰性气体熔融–红外光谱法中拉制标准曲线的方法和建立测试的分析方法,通过该方法,可以获得重掺硅中准确的氧含量数据。
重掺硅单晶中氧含量的测试
【摘 要】
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测定重掺硅单晶中的氧主要采用惰性气体熔融–红外光谱法,然而如何保证测试结果的准确性却是一个问题。本文讨论了惰性气体熔融–红外光谱法中拉制标准曲线的方法和建立测试
【机 构】
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有研半导体材料有限公司
【出 处】
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材料科学
【发表日期】
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2020年7期
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