THE STABILITY INVESTIGATION OF FERROELECTRIC SrBi2Ta2O9 THIN FILMS ANNEALED IN FORMING GAS

来源 :金属学报：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：liqingxian1986

【摘要】

：

The hysteresis loop changes of ferroelecric SrBi2 Ta2 O9 (SBT) thin films (330nm) vsthe temperature of forming gas (5%o hydrogen+95%o nitrogen) annealing were m

【作者】

：

T.Yu D.S.Wang D.Wu A.D.Li A.Hu

【机构】

：

NationalLaboratoryofSolidStateMicrostructures

【出处】

：

金属学报：英文版

【发表日期】

：

2002年1期

【关键词】

：

ferroelectric SrBi2 Ta2O9 THIN film stability FORMING GAS ferroelectric SrBi

【基金项目】

：

State Key Program for Basic Research of China. We would like to thank Dr. Peir Y. Chu of Motorola SPS for his great help, useful advice and discussion

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The hysteresis loop changes of ferroelecric SrBi2 Ta2 O9 (SBT) thin films (330nm) vsthe temperature of forming gas (5%o hydrogen+95%o nitrogen) annealing were measuredwhen the annealing time was 1min and 10min. The selected annealing temperaturewas at 100

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