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假设纳米光刻在理想条件下进行,无图形模板在电场中对聚合物进行流体动力学分析.通过控制变量法可得出电毛细力在宏观条件下的表现与光刻过程中产生电毛细力模板的各项参数有关,包括施加电压、聚合物相对介电常数、模板与聚合物之间的距离、聚合物的表面张力.实验分析了各项参数的改变对最不稳定波长的长度影响的相关关系.结果表明,结合实际工艺可以通过电毛细力驱动进行纳米光刻成型,通过控制各项参数可以控制成型的速度以及成型的效果.