论文部分内容阅读
凡具有一种或多种敏感功能,能够完成信号探测和处理、逻辑判断、双向通讯、自检、自校、自补偿、自诊断和计算等全部或部分功能的器件叫做智能传感器.采用微机械加工技术能够制造出体积小、准确度高、可靠性好的新型智能传感器.我国智能传感器的研究主要集中在专业研究所和大学中,并已取得较大进展,为智能传感器的发展奠定了基础.