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用择优腐蚀技术制作MMI型GaAs光功率分配器
用择优腐蚀技术制作MMI型GaAs光功率分配器
来源 :光通信研究 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lynnxiao
【摘 要】
:
通过对器件结构进行优化设计和择优腐蚀技术,用H3PO4-H2O2-H2O系腐蚀液制作了能直接与单模光纤阵列相耦合的MMI型GaAs1×4光功率分配器。最后用1.3μm波长的He-Ne激光进行了测试,发现该器件基本实现了功率均
【作 者】
:
马慧莲
杨建义
【机 构】
:
浙江大学信息与电子工程学系光电子研究室
【出 处】
:
光通信研究
【发表日期】
:
2000年5期
【关键词】
:
GAAS
择优腐蚀
MMI型
光功率分配器
光通信
GaAs/GaAlAs preferential etching MMI optical sp litter
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通过对器件结构进行优化设计和择优腐蚀技术,用H3PO4-H2O2-H2O系腐蚀液制作了能直接与单模光纤阵列相耦合的MMI型GaAs1×4光功率分配器。最后用1.3μm波长的He-Ne激光进行了测试,发现该器件基本实现了功率均分要求,功率离散度0.155dB。
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