【摘 要】
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为实现对光学元件的高精度面形测量，建立了一种旋转支撑结构的高精度测量方法。对该方法的理论原理、数值仿真和误差分析等进行了研究。首先根据元件夹持工况仿真分析了支撑变
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
【基金项目】
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国家科技重大专项（2009ZX02205）资助课题
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为实现对光学元件的高精度面形测量，建立了一种旋转支撑结构的高精度测量方法。对该方法的理论原理、数值仿真和误差分析等进行了研究。首先根据元件夹持工况仿真分析了支撑变形的特性。接着用泽尼克多项式拟合波面，建立了旋转支撑法的理论模型，并推导出光学元件去除支撑影响后的面形公式。用仿真分析的方式验证了理论模型，对计算的面形结果与理论面形进行了比较分析。最后，分析了影响旋转支撑法测量精度的误差项。仿真分析结果表明，通过两次旋转支撑结构的方式，可以有效地去除元件支撑造成的面形误差，计算值与真实值之间的误差为支撑误差的泽
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