【摘 要】
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选用纯Ti靶与Ti0.33Al0.67合金靶制备Ti0.33Al0.67N膜层,在对基体材料进行离子渗氮之后,采用正交试验对多弧离子镀中的工艺参数进行优化,通过观察膜层结合力、表面形貌、显微
【机 构】
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淮海工学院机械工程学院,江苏科技大学材料学院,
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选用纯Ti靶与Ti0.33Al0.67合金靶制备Ti0.33Al0.67N膜层,在对基体材料进行离子渗氮之后,采用正交试验对多弧离子镀中的工艺参数进行优化,通过观察膜层结合力、表面形貌、显微硬度和膜层厚度选择最佳的工艺参数。
Ti0.33Al0.67N film was prepared by using pure Ti target and Ti0.33Al0.67 alloy target. After ion nitriding the matrix material, the technological parameters of multi-arc ion plating were optimized by orthogonal experiment. Layer bonding force, surface morphology, microhardness and film thickness to choose the best process parameters.
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