一种大直径硅片双面抛光后的手持取片工具

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一种大直径硅片双面抛光后的手持取片工具,它包括:手持部分、夹持部分,所述的夹持部分包括:操作杆、与操作杆连接的同心圆上的两段夹弧,弧的横断面呈V形沟槽,所述的两操作杆以轴连接,以轴绞接后的操作杆的端部为手持部分,操作杆的端部之间以弹簧连接。取片时可以用手捏住手持部分,两段弧形部分夹住硅片的边缘从抛光机大盘上取下。本实用新型的优点是该工具非常简单实用,
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