改善性能和缩小模具尺寸的铜导体芯片

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长期以来,铝一直是制造半导体导线的标准材料。虽然人们已经认识到铜是比铝更好的导体,但到目前为止,铜用于半导体制造还是相当困难的。IBM在1997年9月公布把铜用于半导体制造的技术。不到一年后的今天,IBM已将该技术用于生产。 Aluminum has long been the standard material for making semiconductor wires. Although it has been recognized that copper is a better conductor than aluminum, so far it has been quite difficult for copper to be used in semiconductor manufacturing. IBM announced in September 1997 the use of copper for semiconductor manufacturing technology. Less than a year later, IBM has used the technology for production.
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