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大点阵数二维Dammann光栅的制作与研究
大点阵数二维Dammann光栅的制作与研究
来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户:crowboy2000
【摘 要】
:
报道了我们制作的二维Dammann光栅-65×65大点阵光栅的实验方法和研究结果,在氮化硅膜上进行光栅图形的光刻的反应离子刻蚀,成功研制出65×65等光强分束Dammann光栅。
【作 者】
:
罗风光
曹明翠
李洪谱
【机 构】
:
华中理工大学激光技术国家重点实验室,国防科工委预研基金
【出 处】
:
半导体光电
【发表日期】
:
1994年1期
【关键词】
:
Dammann光栅
光束点阵
氮化硅膜
光栅
Dammann Grating
Spot Arrays
Silicon Nitride Film
【基金项目】
:
八六三计划资助,国家自然科学基金
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报道了我们制作的二维Dammann光栅-65×65大点阵光栅的实验方法和研究结果,在氮化硅膜上进行光栅图形的光刻的反应离子刻蚀,成功研制出65×65等光强分束Dammann光栅。
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