【摘 要】
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针对粘附严重影响微电子机械系统性能和可靠性问题,提出了一种微悬臂梁粗糙表面'截球型'粘附模型;根据Hamaker微观连续介质理论及空隙修正理论,推导出粘附力表达式;
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针对粘附严重影响微电子机械系统性能和可靠性问题,提出了一种微悬臂梁粗糙表面'截球型'粘附模型;根据Hamaker微观连续介质理论及空隙修正理论,推导出粘附力表达式;讨论了粗糙面凸峰对粘附力的影响,得到影响粘附力的主要原子是凸峰顶部少数几层原子的结论;仿真出光洁度等级分别为10级,11级和12级的镍悬臂梁粗糙面粘附力数值结果,为微悬臂梁的结构设计提供了理论基础.
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