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设计并利用控制孔技术加工了GaAs基微结构和基于该微结构的共振隧穿薄膜，并通过实验研究了微结构中共振隧穿薄膜的介观压阻效应，试验结果表明其介观压阻灵敏度比硅的最大压阻灵敏度高一个数量级。
GaAs微结构中共振隧穿薄膜介观压阻效应研究
【摘 要】
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设计并利用控制孔技术加工了GaAs基微结构和基于该微结构的共振隧穿薄膜，并通过实验研究了微结构中共振隧穿薄膜的介观压阻效应，试验结果表明其介观压阻灵敏度比硅的最大压阻灵
【机 构】
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中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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2006年9期
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