【摘 要】
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介绍研制软Ｘ射线多层膜色散元件的初步结果．结合Ｍ_０／Ｓ_１、Ｗ／Ｓｉ色散元件的研制实例，讨论了包括设计、性能模拟计算、镀膜工艺、检测等在内的制备过程．这些元件将在Ｘ射线光学和Ｘ射线光谱学的有
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械研究所，中国科学院长春应用光学国家重点实验室
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介绍研制软Ｘ射线多层膜色散元件的初步结果．结合Ｍ_０／Ｓ_１、Ｗ／Ｓｉ色散元件的研制实例，讨论了包括设计、性能模拟计算、镀膜工艺、检测等在内的制备过程．这些元件将在Ｘ射线光学和Ｘ射线光谱学的有关研究工作中得到应用．
The preliminary results of the development of soft X-ray multi-layer film dispersive element are introduced. Combined with the research of M_0 / S_1, W / Si dispersive element, the preparation process including design, simulation of performance, coating technology, testing and so on are discussed. These components will be applied in the related research of X-ray optics and X-ray spectroscopy.
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