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<正> 高纯度钛是作为溅射目标用于硅半导体集成电路中的电极、配电线路。使用的材料中若Al、Ni、Cu、Fe等金属元素不纯会引起配线间短路,泄漏电流增大;K、Na等碱金属元素不纯会降低可靠性;U、Th等放射元素不纯会引起软化。因此,使用材料的纯度要高。
用新的碘化法制造高纯度钛
【摘 要】
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<正> 高纯度钛是作为溅射目标用于硅半导体集成电路中的电极、配电线路。使用的材料中若Al、Ni、Cu、Fe等金属元素不纯会引起配线间短路,泄漏电流增大;K、Na等碱金属元素不纯
【出 处】
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钛工业进展
【发表日期】
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1995年4期
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