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电子级磷酸工业化战略及其配套技术
电子级磷酸工业化战略及其配套技术
来源 :硫磷设计与粉体工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:halicarnasus
【摘 要】
:
为了适应半导体芯片、液晶制造业向中国转移,半导体芯片和集成电路微细加工、薄膜—液晶制造工艺需要的电子级磷酸包括MOS级、BV级万吨规模工业化装置正在各地建设。提出了发
【作 者】
:
殷宪国
【机 构】
:
武汉工程大学研究设计院
【出 处】
:
硫磷设计与粉体工程
【发表日期】
:
2010年02期
【关键词】
:
磷酸+电子级
电子化学品
工业化战略
技术
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为了适应半导体芯片、液晶制造业向中国转移,半导体芯片和集成电路微细加工、薄膜—液晶制造工艺需要的电子级磷酸包括MOS级、BV级万吨规模工业化装置正在各地建设。提出了发展我国电子级磷酸的工业化战略,并提出了与电子级磷酸制备工艺相关的配套技术开发意见和建议。
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