【摘 要】
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本文对以高T_C超导薄膜为探测元的热敏红外探测器进行了理论分析和模拟设计.对影响器件性能的关键因素——热导G和电阻温度系数α,作了深入的理论分析,得到器件结构参数的最
【机 构】
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中科院上海冶金所传感技术联合开放国家重点实验室,中科院上海冶金所传感技术联合开放国家重点实验室,中科院上海冶金所传感技术联合开放国家重点实验室
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本文对以高T_C超导薄膜为探测元的热敏红外探测器进行了理论分析和模拟设计.对影响器件性能的关键因素——热导G和电阻温度系数α,作了深入的理论分析,得到器件结构参数的最佳设计.在此基础上开展了相关的工艺研究:YSZ缓冲层和YBCO超导薄膜的制备;硅基片的微机械加工技术及YBCO膜的激光刻蚀技术.
In this paper, the theoretical analysis and simulation design of the thermal infrared detector with high T_C superconducting thin film as the detecting element are carried out.The in-depth theoretical analysis is made on the key factors affecting the performance of the device, namely the thermal conductivity G and the temperature coefficient of resistance α, Get the best design of the device structure parameters.On this basis, carry out related process research: YSZ buffer layer and YBCO superconducting thin film preparation; silicon substrate micromachining technology and YBCO film laser etching technology.
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